Sistema di nanoposizionamento con 6 gradi di libertà
Allineamento ad alta precisione
Il PHI-SS-6DOF è un dispositivo piezoelettrico di Phi-Drive che combina 6 gradi di libertà.
Lo spostamento/rotazione è composto da: UX, UY, UZ, ROTX, ROTY, ROTZ. Ogni stadio PHI-SS si ispira alla versione “Micro” di Phi Drive, ma le dimensioni sono state limitate per creare un dispositivo adattabile a spazi molto ridotti.
- 6 gradi di libertà;
- Travel range lineare: ± 1 mm;
- Travel range di tilting: 0 +3 deg;
- Travel range rotazionale (ROTZ): ± 5°;
- Risoluzione a passo finito fino a 100 nm;
- Risoluzione dello stadio di correzione fino a 0.7 nm;
- Soluzione piezoelettrica brevettata Stick& slip;
- Alta precisione;
- Nessun gioco;
- Nessuna deriva se in modalità passo finito;
- Nessun lubrificante utilizzato;
- Carico fino a 40 g;
- Controllo in anello aperto e/o in anello chiuso;
- Strokes personalizzabile;
- Disponibilità di pinza per bloccare l’array di fibre ottiche
Applicazioni
- Posizionamento e allineamento di fibre;
- Applicazioni ottiche e laser;
- Fotonica e ottica integrata;
- Nanotechnologie e nano-produzioni;
- Micromanipolazione;
- Posizionamento campioni;
- Microscopia a scansione.
FAQs
Domande frequenti
La divisione nanoposizionatori di Phi Drive si concentra sulla progettazione, ingegnerizzazione e produzione di posizionatori azionati da motori piezoelettrici e soluzioni integrate di nanoposizionamento per applicazioni con i più elevati requisiti di risoluzione, ripetibilità e stabilità.
Gli stadi flexure di Phidrive consentono il posizionamento e la scansione con precisione nanometrica fino a 6 assi, inclusi i movimenti di puntamento, inclinazione e imbardata. Le tavole XYZ sono modificabili in base all'uso specifico.
Il PHI-SS-6DOF progettato da Phidrive combina risoluzione sub-nanometrica e precisione mediante l’utilizzo di una guida priva di gioco.
Il PHI-SS-6DOF è particolarmente adatto per applicazioni nei semiconduttori, metrologia, microscopia a super risoluzione, interferometria o sistemi di ispezione.
Gli stadi motorizzati sono inoltre supportati da una linea completa di controller per i vari motori e attuatori piezoelettrici.
La tecnologia flexure, gli attuatori piezoelettrici, l’assenza di attrito e lubrificanti e assenza di guide a rotolamento garantiscono una meccanica eccellente e robusta.
Le guide flessibili sono esenti da manutenzione, attrito e usura e non richiedono lubrificazione. La loro rigidità consente un'elevata capacità di carico e sono insensibili a urti e vibrazioni.
L’ottimizzazione del posizionamento viene supportato dai controllori del movimento piezoelettrico ed è facilmente customizzabile in base alle esigenze del cliente. Phidrive ha inoltre brevetti specifici per meccanismi ad alta precisione.
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